他缓缓的伸出手,仿佛要去触摸那美丽的梦境一般的小心翼翼。
“你知道么,鹤田桑。”周硕嘴里在叫着他的名字。目光却消失在虚空之中。
“从我接触集成电路知识那一天起,我就有一个深深的疑问埋在心里。”他喃喃自语道:“集成电路的制造尺寸是以微米计算的,早期的十微米,后来降低到八微米、五微米,一直到两微米和亚微米级别。及至90年代,集成电路产业飞速发展,国际上更是推陈出新。0。8、0。5微米这样的芯片业也能够被制造出来了……”
周硕的目光环绕会议室一圈,问向所有人道:“你们在读书的时候,在使用电子设备的时候。想过没有?这集成电路芯片,究竟是怎么制造的?”
他的话让会场里的众人一愣,回想自己的生活中,或者是大学时代接触集成电路知识的时候。确实很少想过这小小的芯片是如何制造出来的。
看到众人脸上茫然的神色,周硕笑了。
“没有,绝大多数人不会去思考这个问题。”他斩钉截铁的说道:“但是我想过!一开始我以为是老师傅们一笔一笔刻画出来的……”
他这话让在场的所有人的笑出了声。能够进这个屋子的人,现在当然不会不知道芯片是如何制造的。所以听到有人有这种想法自然很可笑。
周硕露出缅怀的神色,毫不在意的接着说道:“你们别笑。我这是经过论证的。都说咱们国家的十级工能够加工1丝的精度。这1丝,可不就是10微米吗?可这也是人类能够分辨的极限了,但却是集成电路发展的开端而已。后来我又以为这是机器控制刻刀画出来的,但可惜世界上最先进的机床设备,仍然不能加工亚微米级别的材料……”
随着周硕的讲话,下面的人渐渐的安静了下来。仔细回想,如果没有芯片制造的专业知识,普通人有这种误会其实毫不奇怪。
芯片的制造过程不仅是人类制造业之皇冠,更是人类想象力的极致。
“后来我第一次听人说,芯片是用光刻出来的。”周硕嘴角上扬,摇头苦笑道:“我的第一个念头是不信,光怎么能刻东西呢?那我每天晒晒太阳,不是早就被晒个满脸花了。不得不承认,现代科技发展到极致,已经是比魔法还神奇的艺术了。”
“一块掩膜版经过光刻机的转换,最后能成百上千倍的缩小之后,分毫不差的刻在一张硅片上。”周硕重新看回鹤田的脸上,由衷的说道:“必须承认,尼康确实是一家伟大的企业!你们做的并不是普通的生意,而是把光当做一件艺术品来卖!”
鹤田听着身边的同声传译,翻译了周硕的话之后,也忍不住自得的点了点头。没错,尼康作为一个光学企业,这样的赞誉当之无愧。
然而,周硕的语调在经过这段高亢之后,猛的低沉了下去。
“但是这种光的艺术,我们的国家却是一片荒漠。”他沉痛的说道:“我们还在为2微米工艺伤脑筋的时候,国际上已经普遍使用亚微米技术了。当被国家民族寄以厚望的908华晶工程陷入困顿的时候,intel就已经在使用0。5微米工艺来制造他们的cpu。”
“我们终于解决了0。8微米工艺的难题进入亚微米时代,尼康和阿斯麦的战火却已经燃烧到了0。25微米级别。如果按照正常的进度,等我们再过两年,国际上进入纳米时代的时候,国产光刻机基本上就可以放弃努力了——因为我们的高端光学,那个时候恐怕只能生存在实验室里了。”
“没有产业化为高端的光学工艺提供出路,单凭财政拨款根本不可能追赶的上国际先进水平!”周硕痛心疾首的说道:“事实早就已经证明,计划经济的研究方式,是无法适应市场竞争的!就算我们能够做光刻机的系统集成,也一样要在镜头上受制于人。”
“所以说——”周硕闭上眼睛,深深的吸了一口气,长叹一声道:“我们中国人这时候,已经站在了光刻机产业的悬崖边上。再退后一步,背后就是万丈深渊。”
他慢慢的张开眼睛,看着鹤田无比真诚的说道:“所以,鹤田先生你能明白,我的觉悟吗?为了让我们中国人也能拥有这种光的艺术,我不惜一切代价!”
啪啪啪啪——
鹤田忍不住由衷的拍起手来,周硕的这一番话,让他有种看到六十年代昭和男儿一般的风采。
日本崛起的基础,正是在那个年代的那样一批人手里被奠定,他们拥有无限的热情和为了国家奉献的责任感、紧迫感。从这一点上来说,周硕和他们无疑是同类人。妄图以自己的一双肩膀,挑起一付原本不属于自己的重担。
梦想也好、责任也罢,世人常常嘲笑他们傻,却忘记正是这样的人才能成为撑起一个国家的脊梁。
“周桑说的太好了,让我忍不住想到了我国战后通产省的前辈佐桥滋。正是他这样的人,怀着富强日本的梦想,付出无数的辛苦努力和热血,这才有了日本的今天。”鹤田看起来,对那段历史很是心驰神往:“今天的中国能有周桑这样的人,我相信中国在未来一样会成为一个美好的国家!”
来自鹤田的肯定,不仅是周硕,更让泛翰集团所有与会的人都与有荣焉。人生最大的成就,莫过于来自敌人的肯定。鹤田这一句话,可以说是大大的振奋了泛翰集团这一侧的士气。
“但是,时代已经不同了!”鹤田用更猛烈的气势,猛然回击道:“这个世界是如此的冷酷,并不会因为人们的努力而一定就会有收获。哪怕是佐桥滋的思想,现在在日本都已经没有市场了。市场之所以是市场,就是因为它的冷酷无情和利益至上!所以真的非常抱歉,周桑你的理想我非常敬佩,但生意就只能是生意!”
“生意就是生意啊!”周硕坐在椅子上,放松的长叹道:“说的真话,用这句话拿来给资本做脚注,实在是再贴切不过。”
“周桑也是知道市场不会以人的意志为转移的,所以请不要再做无谓的挣扎了!”鹤田诚恳的说道:“请按照市场规律,面对现实吧!”
“哈哈哈哈!”周硕突然张嘴大笑了起来,站起身说道:“说得好,就让我们面对现实吧!”
鹤田见到周硕的样子,心下振奋的以为他已经想通了,却不想他的话音打了个圈又兜了回去。
“既然如此,我们就用市场规律说话,请尼康公司面对现实吧——”
周硕双目炯炯有神,拿出一份文件猛的拍在了鹤田的面前。
第三百九十六章投影曝光
如果没有周硕的干扰,从0。35微米工艺向0。25微米工艺过渡的光刻机,真实历史上实际使用的是步进重复投影曝光技术。
在0。35微米工艺及之前,光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。基本上和生产的芯片,是一对一全比例设计。
掩膜版投射的镜头需要与硅片进行完全的接触,接触中甚至要抽成真空状态。然后光源系统的激光打到掩膜版上,投影部分的光刻胶就会被蒸发掉。把这样的晶圆放到蚀刻机里面,化学药品就会将没有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉,然后再把晶圆转移到离子注入机上进行离子注入……
把镜头和晶圆直接接触,或者两者之间只有小缝隙的接近,这种光刻机被称之为接触、接近式曝光技术。因为使用这种技术的光刻机镜头要和晶圆进行完全的接触,对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。
这种设计自有其好的一面,对镜头精度要求低,系统复杂度低,以及成像质量高之类的优点。但也有其致命的缺陷,0。35微米工艺基本上就是其经济性的极限了。
0。25微米工艺光刻机想要延续接触式曝光,整个系统需要的机械精密程度,掩膜版的成本、掩膜版和硅片的接触紧密度,系统的集成难度都开始了几何级数的增加。
于是在原本的历史上,尼康也好、阿斯麦也好都选择了另一条路,那就是非接触式曝光。也就是投影式曝光技术。
这种技术说白了,就是好像平常用放大镜聚集太阳光一样。用棱镜系统将光源从远处投射到硅片上。这样经过几次聚焦、折射、再聚焦,最终投影到硅片上的图形比掩膜版甚至可以小上4倍。
对于沉浸式光刻技术而言。投影式曝光技术最大的好处就是——避免了使用防水光刻胶的高成本。
其实说起来,周硕现在真的很想哈哈大笑一下,以发泄自己内心的畅快!
日本人费尽心思弄到了防水光刻胶的技术,原本他们这个技术至少是可以吃一代光刻机没问题的。历史上,早期沉浸式光刻机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机,?
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